太赫兹光谱仪

太赫兹椭偏仪是对通常称为红外或毫米波的1THz的波段，波长约300μm的波长范围内入射时的反射椭圆偏振光进行分析，来计算半导体各种各样的电气特性的装置。太赫兹波具有透射性和物质识别能力，比电波的波长短，最适合微小观察。因为能量低，也可应用于分子间的结合状态的观察。西華数码映像提供的太赫兹光谱仪/太赫兹椭偏仪可同时测量电场强度和相位信息。是唯一可以测量复电介质率(复折射率)的频率依存性的装置。

特点

◆可以无损地实现内部检查

◆简化与PC连接方式，可轻松测量

◆可以自动组合测量程序自动执行一系列测量

◆丰富的应用支持透过、反射、映射等扩展功能

◆标准配备高性能显微样品室RSM800

产品阵容

| 太赫兹光谱仪THz-TDS

◆一种新型光谱仪，可处理不同处理的电磁波段，例如光和无线电波之间的边界区域

◆通过测量电磁波脉冲的电场强度的时间波形，与电场强度同时测量相位信息

◆通过分析参考和样品中的时间波形的差异，可以获得样品的复介电常数（复折射率）的频率依赖性

◆支持飞秒激光外部导入

◆支持特别定制

◆能够使用外部程序进行控制，与其他系统组合测量

| 太赫兹椭圆仪 Tera Evaluator

◆在太赫兹光谱测量中导入了椭圆偏振技术的新太赫兹光谱装置

◆实现4英寸･6英寸晶圆电特性的非破坏･非接触测量

◆采用反射光学系统，最适合不透明材料的测量

◆搭载4英寸、6英寸晶圆测量用的映射舞台

◆输出椭圆偏振参数、复折射率/介电率/导电率数据

◆测量带宽中心波长780 ~800 nm (脉冲宽度100 fs以下)

| 实验设备（附加装置）  

◆天线支架单元，分析软件“THz分析”，可用于测绘测量的映射单元等

◆我们根据规格应对定制

测量事例

|  高阻硅片（太赫兹光谱仪）的测量结果

◆确认在晶圆表面反复反射的峰值

◆通过对时间波形进行傅立叶变换，能够获得透射率和相位频率的依赖性

◆可测量复电介质率（复折射率）

◆通过使用Drude模型分析复介电常数的频率依赖性，可以获得载流子浓度和迁移率

| 太赫兹吸收光谱的判别(侧链判别) (太赫兹分光装置)

◆通过太赫兹区的吸收光谱观察到二萘嵌苯衍生物（PTCDI-C5，C8，Ph）的侧链差异

| 树脂材料的透射示例(太赫兹分光装置)

◆环形线圈和FeliCa搭载有芯片的柔性基板由2张PVC树脂夹住，并且透视了在表层上印刷的PET-G树脂重叠的结构卡片

◆用太赫兹测量可以透视树脂内的部件

|  SiC基板的分布测量（太赫兹椭圆仪）

◆SiC基板的叶片和颜色深的部分作为“载波浓度的不同”被检测出来