拉曼测量装置

拉曼测量装置，是在物质被光照射时，对物质的散射光中与入射光不同的波长的光(拉曼错乱:RamanScattering)进行测量，根据光谱信息，通过装备显微样品室，实现了对结晶化的程度和晶格子的变形、硅基板的应力等的高精度的测量。波数分辨率、空间分辨率、短波长激励拉曼、高波长激励拉曼、低波数拉曼、扭曲硅应力等根据测量对象有各种型号可供选择。

特点

◆高性能光谱系统中有大量的实绩

◆适合低频区域、深红外区域测量的高性能机

◆标准配备高性能显微样品室RSM800

◆具有出色的波数分辨率，空间分辨率，激发波长范围和低波数拉曼性能的各种型号

产品阵容

分光器上搭载了三重单色计的JUPITER和使用了单个光谱图形的MARS两种的基础上，还有红外、紫外线等波长性能增强的机型。

| 标准型  JUPITER

◆装备三重单色计

◆适合用于低波数领域的拉曼测量、深紫外区域等特殊波长时的无滤光片测量

◆JUPITER-PDPX型，对低波数域极限测量的微观拉曼测量装置拥有滤光片无法比拟的卓越性能

| 标准型 MARS

◆通过滤光片保证去除迷光性能

◆装备高性能可变聚焦结构，高倍率和广视野并存的观察系统

◆能够获得一般显微拉曼测量装置无法得到的测量结果

|  DEEP UV拉曼测量   JUPITER-DUV

◆使用244nm和266nm深紫外激光的拉曼装置

◆短波长会使浸入试料的长度变浅，适合表面分析

◆装备三重单色计

◆通过选择光谱图的焦距防止深紫外区域的波数分辨率降低

| 显微红外拉曼测量MARS-IR

◆1064nm激励激光器的显微拉曼装置

◆有效的去除荧光

◆从可见区域到红外拉曼的测量波长范围在衍射界限以下修正色像差

◆根据样品不同可以使用可见光进行显微红外拉曼测量，无需刻意使用红外光

◆通过对红外多通道防护器和除噪效果出色的测量方法等实现了优异的S/N比

| 应变硅测量  SRM

◆高波数分辨率和波数稳定性

◆我们配备了专用焦距2000mm的高分辨率光谱仪

◆波长校正机制

◆非常高的波长精度

◆线测量功能，可同时测量50μm或100μm线段，500点光谱